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検査装置

2400dpi 高光学分解能フルカラースキャナと検査対象ごとの高性能検査アルゴリズムを搭載した検査ソフトのコンビネーションは、低価格で高効率のコストパーフォーマンスを備えた検査機を構成しました。
 



 

 

 

 


タルマスク・フィルム・スクリーン検査機:Mask チェッカ SP

  • メタルマスク・フィルム・スクリーンをフレキシブルに検査
  • 複数品種の検査を、同時に開始可能
  • 良品確認検証・CADデータ比較検査が可能
  • 製造タクトタイムと検査タクトタイムの差異を解決
  • 製造現場と離れた検査環境で、十分な精細検査が可能
  • 検査データのネットワーク共有可能
  • 比較元データとしてガーバーデータ(標準)のほか、ODB++など最新フォーマット(オプション)に対応
  • お客様専用形式テンプレートで、検査データ自動生成
  • バーコードによる容易な検査データ管理
メタルマスク・フィルム・スクリーン検査機:Mask チェッカ SP
 

ガーバー比較なしで良品確認

ガーバーデータ比較なしで、幾何学認識により、開口数抽出・異常開口形状検査を行えます。
 

簡単で高画質で高密度に対応したスキャニング

透過光/反射光切替ユニットの新採用により、高解像度で30µ以下の変形アパーチャの検査を可能としました。さらに、高速スキャナインターフェースにより、高分解能画像の大量データを高速に読込みます。スキャンの設定は、検査マスクに合わせ、読取分解能を設定でき、効率的に検査を行えます。
新搭載スキャンダスト自動除去機能は、アパーチャに対し無視できる小さなダストサイズの自在な設定で、最良の画像が得られます。
新フルカラー画像補間変換エンジンにより、スキャン画像から最高分解能1.76µmの検査データが得られます。
 

容易操作で高精度な検査

検査データと比較元データの重ねあわせに、ワンクリック重合を採用。簡単操作で位置不良を検査します。
 

検査結果

検査結果は、履歴テキストファイルとして自動保存しISO用履歴と使用でき、提出用として専用フォーマットで文書化できます。また、位置情報と結果画像は詳細検査を容易にします。
 

エラー検出例

メタルマスク検査: バリやスパイク突起などの異常形状
開口数異常
開口部位置/寸法不良
フィルム検査: 切欠、短絡、隙間未接続、ごみ、ピンホール不良
線やアパーチャの有無異常
線やアパーチャの位置/形状/寸法不良
スクリーン検査: 切欠、短絡、隙間未接続、ごみ、ピンホール不良
線や開口部の有無/異常
線や開口部の位置/形状/寸法不良
 

仕様

QCユニット
x1
最小表示分解能
比較元CADデータ
813×813mm
Gerber274D/274X(標準)
DXF、ODB++、ODB++XML、IPC-2581、DPF、HPGL、
HPGL/2フォーマット(オプション)
Scanユニット
x2
(増減可能)
対象形状
最大スキャン対象
最大スキャン範囲
スキャン解像度
スキャン光源
読み取り画像
電源
大きさ(D×W×H)
重量
シート・枠付シート
813×813mm
310×437mm
1000, 2000, 3200,4800 dpi 切替可能
透過光源/反射光源/反射透過光源 切替可能
カラー/モノクロ 切替可能
AC100V 250W
770×980×320mm
約25kg
※仕様は予告なく変更する場合があります
 


 


BGA検査機:ScanEYE BGA

リフロー前や後のBGAのボール配置不良を、高解像度とカラー認識により検査します。
0.3mmボールの欠如・サイズ不良・位置不良・過多ボールの検出と表面品質を同時に検出します。

 

エラー検出例

ボール欠如
サイズ不良
位置不良
表面品質不良
ボール過多不良
エラー検出例
 

ScanEYE BGA仕様(デスクトップタイプ)

最大検査エリア 310×437mm
最大板サイズ 457×610mm
最小板サイズ 25.4×25.4mm
分解能 400/1000/1200/1600/2000dpi
大きさ(D×W×H) 1257×692×483mm
重量 約60kg
 ※仕様は予告なく変更する場合があります
 

穴検査機:ScanEYE HOLE

較正された高解像度フラットベッドカラースキャナとWindowsソフトは、穴やスリットの有無・位置ずれ・不良形状・寸法不良などを検出します。
新機能LMA(Local Micro Alignment)は、穴径50µmにおいて8µmの寸法不良を、良品や設計ガーバーデータと比較し、検出します。

 

特長

カラーおよびモノクロ画像による検査
リワーク用ガイド・レポート自動作成
操作性のよさ、容易な検査プログラム作成
最小解像度:1.98µm以下(12800dpi)
検査対象:50µm以下
測長機能
低価格

 

ScanEYE HOLE仕様(デスクトップタイプ)

最大検査エリア 310×437mm
最大板サイズ 457×610mm
最小板サイズ 25.4×25.4mm
分解能 400/1000/1200/1600/2000dpi
大きさ(D×W×H) 1257×692×483mm
重量 約60kg
パススルータイプもご用意しています
※仕様は予告なく変更する場合があります