外観検査装置

印刷マスク検査：Mask Checker

メタルマスク検査装置Mask Checkerは、はんだ印刷マスク・スクリーンの製造・印刷前後の検査を効率的に行ないます。

• 有無・サイズ・変形・キズ・位置を複合検査
• カラースキャン・カラー分離認識
• 高光学分解能フラットベッドスキャナ
• 高画質が得られるスキャンダスト自動除去機能
• 容易な比較データ重ね合わせ機能
• ネットワークに対応
• スペースをとらないデスクトップタイプ
• 低価格

フレキシブルな比較元データ準備

ガーバーデータのみでなく、付属ユーティリティConvertPlusにより、DXFなどのフォーマットから、不要部分を削除し比較元データを準備できると共に、良品スキャン画像を比較元データとして使用できます。

簡単で高画質で高密度に対応したスキャニング

新高光学分解能スキャナと新透過光源ユニットの採用により、当社従来比50％アップの高解像度で、40µ以下の変形アパーチャの検査を可能としました。さらに、高速スキャナインターフェースにより、高分解能画像の大量データを高速に読込みます。スキャンの設定は、検査マスクに合わせ、読取分解能を設定でき、効率的にスキャニングを行なうことができます。

新搭載スキャンダスト自動除去機能は、アパーチャに対し無視できる小さなダストのサイズを自由に設定でき、最良の画像が得られます。

新フルカラー画像補間変換エンジンにより、スキャン画像から最高分解能1.76µmの検査データが得られます。

▼高分解能スキャン設定

▼最良検査画像を得る出すとダスト自動除去設定

容易操作で高精度な検査

検査データと比較元データの重ねあわせに、画像中心合わせ・4点合わせに加え、各個別アパーチャを微細に重ね合わせるLMA（ローカルアライメント）機能により、各アパーチャの中心を重ねあわせ、高精度比較を可能としました。また、新検査アルゴリズムは、形状と公差設定による検査を複合し行ないます。

▼重ね合わせ前画像

▼重ね合わせ画像

▼LMA設定

▼エラー箇所

検査結果

検査結果は、履歴テキストファイルとして自動保存が可能であり、提出用として文書化できるだけでなく、ISO用履歴と使用できます。また、位置情報と結果画像は詳細検査を容易にします。

▼検査結果画像

標準構成

• ソフトウェア
• A3高解像度フラットベッドカラースキャナ
• 透過原稿ユニット
• キャリブレーション治具
• スキャニングアクセサリ
• インターフェイス基板・ケーブル
• ソフトウェアプロテクションキー

推奨環境

• CPU：Pentium以上、または互換CPU
• RAM：256MB以上
• HDD：30GB以上
• モニタ：17インチ以上
• インターフェイス：USB2.0インターフェイス×3以上
• 対応OS：Windows 98/NT4.0以降

仕様

※仕様は予告なく変更する場合があります