外観検査装置

マスク検査・データ作成：Mask Inspector

マスクインスペクタは、メタルマスク製造時や使用前後の検査を行えるのみでなく、基板・フィルムなどからのメタルマスク製造データ作成（マスクビルダ）機能を有し、メタルマスクの製造をトータルに支援いたします。

スキャン

新高解像度スキャナの採用による当社従来比50％アップの光学分解能と、メタルマスクスキャンに新同期式透過光源ユニットの採用により、40µ以下の変形アパーチャ画像を検出します。

また、USB2.0ハイスピードインターフェイスの採用で、大きな画像データを高速に取り込みを可能とすると共に、新アルゴリズムを採用したフルカラー画像補間変換エンジンにより、スキャン画像から最高分解能1.76µmの画像データを得ます。

一回のスキャンエリアはスキャナのサイズに依存しますが、分割スキャンにより、1000mmｘ1000mmサイズのデータ作成を可能です。

検査

メタルマスク・スクリーン版などをスキャンし、ガーバーデータや良品データと比較し検査を行います。

検査メタルマスクなどと比較元データのアパーチャの微妙な中心位置ずれを自動補正する新LMA（ローカルアライメント）機能により、各アパーチャの比較中心を正確に重ね、アパーチャ形状面積比較により検査します。

さらに、フレキシブルな検査レベル設定により、最適なエラー検出レベルと効率的な検査速度が得られます。

測長

スキャンした画像からギャップ間隔などを測ると共に、拡大カラー画像を保存・印刷を行えます。

標準構成

• ソフトウェア
• A3高解像度フラットベッドカラースキャナ
  （400／1,000／2,000／3,200／4,000※dpi）
• 透過原稿ユニット
• キャリブレーション治具
• スキャニングアクセサリ
• インターフェイスケーブル
• ソフトウェアプロテクションキー

※4000dpiの場合、スキャン範囲が小さくなる場合があります

推奨環境

• CPU：Pentium4（2GHz以上）
• RAM：1GB以上
• HDD：60GB以上
• ドライブ：CD-ROMドライブ／CD-R
• モニタ：17インチ以上
• インターフェイス：USBインターフェイス×2
• 対応OS：Windows 98SE／Me／2000／XP

仕様（デスクトップタイプ）

• パススルータイプもご用意しています
• 仕様は予告なく変更する場合があります